可燃?xì)怏w檢測儀

XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測

產(chǎn) 品 說 明

XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測

檢測對象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

檢測濃度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

檢測原理：熱線型半導(dǎo)體式

采樣方式：自動吸引式

產(chǎn)品特點(diǎn)

·  小型·輕量

·  可以檢查非常微量的氣體泄漏

·  適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護(hù)

·  搭載的泵有自動停止功能

·  搭載[自動氣體排氣模式]功能

·  保護(hù)等級約為IP22（JIS C  0920）※安裝皮套時

產(chǎn)品用途

·  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

·  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測

產(chǎn)品參數(shù)